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半導體行業廢氣處理工藝推薦-鑫藍環保

文章出處：原創網責任編輯：蔡作者：蔡人氣：-發表時間：2025-07-28 00:00:00【大中小】

半導體行業在生產過程中會產生多種廢氣，包括揮發性有機化合物（VOCs）、酸性氣體、堿性氣體、有毒氣體以及顆粒物等。這些廢氣若未經有效處理直接排放，會對環境和人體健康造成嚴重危害。以下是針對半導體廢氣處理的推薦工藝，結合了技術成熟度、處理效率、運行成本及環保要求等因素：

一、揮發性有機化合物（VOCs）處理工藝

沸石轉輪吸附濃縮+RTO（蓄熱式熱氧化）

工藝原理：沸石轉輪利用其多孔結構吸附VOCs，通過高溫脫附將濃縮后的VOCs送入RTO進行高溫氧化分解，生成CO?和H?O。

優勢：處理效率高（可達99%以上），適用于大風量、低濃度的VOCs廢氣處理；沸石轉輪可重復使用，運行成本低；RTO熱回收效率高，節能效果顯著。

適用場景：半導體制造過程中的光刻、蝕刻、清洗等環節產生的VOCs廢氣。

活性炭吸附+催化燃燒

工藝原理：活性炭吸附VOCs，當吸附飽和后，通過熱空氣脫附將VOCs送入催化燃燒裝置，在催化劑作用下低溫氧化分解。

優勢：設備簡單，投資成本低；適用于低濃度、小風量的VOCs廢氣處理。

局限：活性炭需定期更換，運行成本較高；催化燃燒需消耗輔助燃料，能耗較大。

二、酸性氣體處理工藝

濕式洗滌塔

工藝原理：廢氣通過噴淋塔，與堿性洗滌液（如NaOH溶液）充分接觸，發生中和反應，去除酸性氣體。

優勢：處理效率高，可同時處理多種酸性氣體；設備簡單，操作方便。

適用場景：半導體制造過程中的蝕刻、清洗等環節產生的HF、HCl等酸性氣體。

干式吸附法

工藝原理：利用堿性吸附劑（如活性炭、分子篩等）吸附酸性氣體，達到凈化目的。

優勢：無需噴淋系統，設備簡單；適用于低濃度酸性氣體的處理。

局限：吸附劑需定期更換，運行成本較高；處理效率受吸附劑性能影響。

三、堿性氣體處理工藝

濕式洗滌塔

工藝原理：與酸性氣體處理類似，廢氣通過噴淋塔，與酸性洗滌液（如稀硫酸溶液）充分接觸，發生中和反應，去除堿性氣體。

優勢：處理效率高，可同時處理多種堿性氣體；設備簡單，操作方便。

適用場景：半導體制造過程中產生的NH?等堿性氣體。

四、有毒氣體處理工藝

化學吸收法

工藝原理：針對特定有毒氣體（如SiH?、PH?、AsH?等），選擇合適的吸收劑進行化學吸收，轉化為無害或低毒物質。

優勢：處理效率高，可針對性處理特定有毒氣體；吸收劑可循環使用，降低運行成本。

局限：需根據有毒氣體種類選擇合適的吸收劑；吸收過程可能產生副產物，需進一步處理。

燃燒法

工藝原理：將有毒氣體送入燃燒爐，在高溫下與氧氣反應，生成無害物質（如CO?、H?O等）。

優勢：處理徹底，適用于高濃度有毒氣體的處理；可回收燃燒產生的熱量，降低能耗。

局限：需消耗輔助燃料，運行成本較高；燃燒過程可能產生二次污染，需嚴格控制燃燒條件。

五、顆粒物處理工藝

布袋除塵器

工藝原理：廢氣通過布袋除塵器，顆粒物被濾袋截留，凈化后的氣體排出。

優勢：處理效率高，可去除微小顆粒物；濾袋可清洗或更換，運行成本較低。

適用場景：半導體制造過程中產生的粉塵、顆粒物等。

六、綜合處理工藝推薦

針對半導體行業廢氣成分復雜、排放量大的特點，推薦采用組合工藝進行綜合處理。例如：

VOCs+酸性氣體+堿性氣體綜合處理：采用沸石轉輪吸附濃縮+RTO處理VOCs，同時設置濕式洗滌塔處理酸性氣體和堿性氣體，實現多種廢氣的高效協同處理。

有毒氣體+顆粒物綜合處理：針對有毒氣體采用化學吸收法或燃燒法進行處理，同時設置布袋除塵器或靜電除塵器去除顆粒物，確保廢氣達標排放。

七、工藝選擇注意事項

廢氣成分分析：在選擇處理工藝前，需對廢氣成分進行詳細分析，了解廢氣中各組分的濃度、性質及排放規律。

處理效率要求：根據環保法規及企業自身要求，確定廢氣處理效率目標，選擇能夠滿足要求的處理工藝。

運行成本考慮：綜合考慮設備投資、運行能耗、維護費用等因素，選擇經濟合理的處理工藝。

環保法規遵循：確保所選處理工藝符合國家和地方環保法規要求，避免因違規排放而面臨處罰。

鑫藍環保科技（昆山）有限公司多年來專注于半導體廢氣處理設計、制造和安裝。我們產品有RTO蓄熱焚燒、RCO蓄熱催化燃燒、CO催化燃燒、TO直燃爐、有機廢氣處理設備、冷凝回收、防爆除塵器、酸堿廢氣處理、濾筒除塵器、防爆除塵器、單機除塵器、倉頂除塵器、旋風除塵器、洗滌塔、活性炭吸附箱、靜電除油設備等。